2022第五届深圳国际半导体展览会深圳半导体材料展

　　我们先把MEMS传感器做一个简单的介绍：　　MEMS的全称是微型电子机械系统(Micro-ElectroMechanicalSystem)，微机电系统是指可批量制作的，将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处...

阅读全文 仝元 5 次浏览 2025-08-03 科学