ZEP520A电子束光刻胶AR-P6200系列光刻胶可替代zep520
1、对于常用的电子束光刻胶ZEP520,发现其间距分辨率限制为60纳米30纳米线与空隙,独立于厚度和束能使用3纳米100千电子;电子束光刻胶很敏感,曝光后可以用某些显影剂显影与曝光区域 ZEP是日本Zeon公司在聚氯...
1、对于常用的电子束光刻胶ZEP520,发现其间距分辨率限制为60纳米30纳米线与空隙,独立于厚度和束能使用3纳米100千电子;电子束光刻胶很敏感,曝光后可以用某些显影剂显影与曝光区域 ZEP是日本Zeon公司在聚氯...